中微5纳米等离子体刻蚀机很棒 但造芯片只是"配角"
发布时间：2019-02-15 18:23:04 所属栏目：要闻 来源：科技日报社-中国科技网 (北京)
导读：（原标题：国产刻蚀机很棒，但造芯片只是“配角”） 中微5纳米等离子体刻蚀机又被网媒“戴高帽”，专家指出—— 国产刻蚀机很棒，但造芯片只是“配角” 本报记者 高 博 近来有网络媒体称，“中微半导体自主研制的5纳米等离子体刻蚀机，性能优良，将用于全
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